INNOVENT - Technologieentwicklung Jena

TSSG-Kristallzüchtungsanlagen

• Resistiv beheizte vertikale Mehrzonen-Rohröfen
• Arbeitstemperaturen von Raumtemperatur bis maximal 1300°C
• Normaldruck und/oder einstellbarer Prozessgasdurchsatz (N₂, Ar, O₂,)
• Kristalltranslation min. 0,001 mm/h
• Kristallrotation ± 200 U/min (programmierbarer Drehsinnwechsel)
• Tiegelrotation mit ACRT-Technik
• für Tiegeldurchmesser bis max. 70 mm
• SPS-Anlagensteuerung / Prozessvisualisierung
• Kristallwägungsoption

1-Zoll- und 3-Zoll-LPE-Beschichtungsanlagen

• Resistiv beheizte vertikale Mehrzonen-Rohröfen
• Arbeitstemperaturen von Raumtemperatur bis maximal 1300°C
• Normaldruck und/oder einstellbarer Prozessgasdurchsatz (N₂, Ar, O₂)
• Substratrotation bis 200 U/min (programmierbarer Drehsinnwechsel)
• Schleuderrotation bis 1200 U/min
• Tiegelrotation mit ACRT-Technik
• für Tiegeldurchmesser bis max. 110 mm
• SPS-Anlagensteuerung / Prozessvisualisierung